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マイクロブラスト工法

表面加工を行うエアーブラスト原理により、10μm~70μm程の微細砥粒を圧縮エアー使用して高速で被加工物に噴射し、脆性破壊原理により、高精度な微細加工を実現する新ドライエッチング技術です。

大きな面積を均一に加工

大きな面積を均一に加工

噴射材の定量供給装置(特許取得済)、異物除去装置との組合せにより、微細な加工粉塵と噴射材に分離し、加工精度の安定化を実現します。

マスクレス加工

マスクレス加工

マスキングを使用せず、微小径ノズルから直接噴射加工するタイプも取り揃えています。

マイクロブラスト工法と他工法との比較

項目 マイクロブラスト エッチング レーザー 超音波加工
加工精度
環境対応 ×
チッピング・クラックの発生 なし
加工変質の発生
生産性
複雑形状加工
イニシャルコスト

マイクロブラスト工法の工程及び使用される設備

マイクロブラスト工法の工程及び使用される設備

露光

露光

MICROBLASTER MB1加工中

MICROBLASTER MB1加工中

メリット

  • ドライ工法でノンケミカル
  • チッピング・クラックが少ない
  • 加工変質が発生しにくい
  • 加工レートが高い
  • 平面の複雑形状加工が可能
  • イニシャルコストが低い
  • 各種マテリアルに対応可能
  • ワークへのダメージが小さい

加工品位の追及

異物除去装置、微粉対応サイクロンにより微細な加工粉塵と投射材を分離し、マイクロクラックチッピングの少ない加工を実現します。

●チッピング数μm以下

●表面粗さ0.02μmRa

加工能率の追及

加工テーブルのNC化、噴射条件設定、マスキングパターンにより自由に形状を創成でき、高能率加工を実現します。

●複雑形状加工に対応

●高い生産性

加工精度

穴加工
  ガラス、Si アルミナ、チッ化アルミ
穴径 50μm~ 100μm~
加工深さバラツキ ±5% ±10%~15%
アスペクト比
(穴径:100μmの場合)
片面加工 1:2
両面加工 1:4
片面加工 1:1
両面加工 1:2

※各種条件により異なります。

溝加工
  ガラス、Si アルミナ、チッ化アルミ
線幅 50μm~ 100μm~
加工深さバラツキ ±5% ±10%~15%
アスペクト比
(線幅:100μmの場合)
片面加工 1:2
片面加工 1:1

※各種条件により異なります。

加工事例

マスク貼り付け(ブラスト加工前)

マスク貼り付け(ブラスト加工前)

マイクロブラスト加工後

マイクロブラスト加工後

マスク貼り付け後の拡大写真

マスク貼り付け後の拡大写真

マイクロブラスト加工後の拡大写真

マイクロブラスト加工後の拡大写真

マイクロブラストに関連するご相談は、私たちにお任せ下さい。特機事業部 営業グループ

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