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非接触測定により表面粗さを「面」で測定

非接触測定により表面粗さを「面」で測定

「面」でとらえて、表面の形状・粗さ測定が1台で可能に

OPTIFiS IS-R400は画像処理による2次元寸法測定と白色干渉による3次元形状測定を1台で測定可能なため、
測定の効率化を実現できます。
従来では、測定内容に合わせ、2次元測定機、3次元測定機、触針式測定機など複数台を保有されるケースがありましたが、IS-R400では2次元(2D)、3次元(3D)の連続・交互測定が可能です。
お求めの測定は全てマルチタスクなこの1台で対応します。

※OPTIFiSは新東グループ 新東Sプレシジョンのブランドです。

特長

下記の特長を複合的に組み合わせ、様々な測定を可能にします。

最新表面粗さ基準 JIS B0681-2 に対応

表面粗さは従来の線粗さによる測定基準と合わせ、新たに面粗さによる測定基準(JIS B0681-2)が加わりました。
今後「面」での表面粗さ測定ニーズが高まることが予想される中、いち早く対応可能です。

白色干渉による3次元形状測定

白色干渉による 3次元形状測定

白色干渉方式による非接触測定で、広視野と高分解能を両立しました。
取得した3Dデータを基に表面形状、高さ(段差)、粗さ測定が可能です。

画像処理によるμmレベルの微小寸法測定

画像処理によるμmレベルの 微小寸法測定

グレースケール画像処理により、カメラのピクセルサイズ以下まで輝度情報により分解できます。
最小1μmの線幅測定に対応します。

高精度XYステージによる精密座標測定

高精度XYステージによる 精密座標測定

高精度リニアスケールを搭載した自動XYステージで、6インチ範囲での精密座標測定が可能です。
繰り返し測定のバラツキが非常に小さく、平面における補正技術によって測定結果の信頼性向上に寄与します。

測定事例

2次元+3次元の組合せ測定

1つの測定プログラムで2次元測定と3次元測定を自由に組合せて実行可能です。

①画像処理(径測定)

①画像処理(径測定)

②白色干渉(深さ測定)

②白色干渉(深さ測定)

③画像処理(線幅測定)

③画像処理(線幅測定)

④白色干渉(高さ測定)

④白色干渉(高さ測定)

アライメント設定

高精度なXY位置決め精度とアライメント座標設定機能により、μmレベルで指定した位置での測定を可能にします。
ワークを置きなおしても完全に同じ位置で3次元形状測定ができ、プロセス毎の表面形状の変化量管理が可能です。

ブラスト加工後

ブラスト加工後

バレル加工 3分

バレル加工 3分

バレル加工 10分

バレル加工 10分

面粗さ解析

面粗さ解析ウィンドウ(JIS B0681-2に準拠)

面粗さ解析ウィンドウ
(JIS B0681-2に準拠)

線粗さ解析

線粗さ解析ウィンドウ(JIS B0601:2001/2013に準拠)

線粗さ解析ウィンドウ
(JIS B0601:2001/2013に準拠)

用途例

下記項目以外にも現在触針式で表面粗さを測定されている製品をはじめ幅広い用途でご使用頂けます。

測定項目 対象部品
面・線粗さ・
表面形状
ベアリング
コンプレッサ
エンジン
AT/MT部品
切削工具
DLC、PVDコーティング
段差・寸法測定 半導体ウエハ(穴、溝加工)
MEMS
プリント基板
CMOS
静電チャック

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