MEMS マイクロマシンの測定

MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）とは機械要素部品や電子回路を微細加工技術によりシリコン・ガラス基板、有機材等の上に集積化した超小型のデバイスのことで、「マイクロマシン」とも言われています。その技術はインクジェットプリンターヘッド、ジャイロ・加速度センサー等、新しいデバイスに応用されています。

MEMS製造プロセスのひとつとして半導体の製造技術を用いて薄膜加工するサーフェイスマイクロマシニングがあります。このフォトリソグラフィー工程でパターン形成する際に用いられる精密フォトマスクの測定を新東の装置で行っています。