白色干渉顕微鏡
白色干渉方式による非接触測定で、広視野と高分解能を両立させた表面形状、高さ（段差）、粗さ測定が可能です。
白色干渉による3次元形状測定のメリットと特徴
高さ測定の分解能が光学分解能に依存しないため、広い測定範囲でも1nm分解能で高さ（段差）や粗さ測定が可能です。
プロファイルウィンドウ
2D表示画像で指示した線上の断面プロファイルを表示します。プロファイルウィンドウでは長さ/ 平均高さ/ 最大･最小高さなどの解析ができ、傾き補正機能（近似直線/2点傾き/曲線/ 円）も完備しています。
面粗さ分析
面粗さの算出、表示を行うウィンドウです。粗さ新基準のJIS B0681-2に準拠しています。接触式測定機では評価しきれない面情報による正確な粗さ解析を行います。
線粗さ分析
線粗さの算出、表示を行うウィンドウです。JIS B0601:2001/2013に準拠した粗さパラメータに対応しています。
商品名
白色干渉顕微鏡
IS-R100
説明
白色干渉方式による非接触測定で、広視野と高分解能を両立させた表面形状、高さ（段差）、粗さ測定が可能です。取得した3Dデータを基にした各種解析機能を豊富に揃え、測定から観察、解析まで幅広い用途で使用いただけます。従来の線粗さ評価に加え最新のJIS B0681-2による面粗さ測定に対応しております。精密微細加工や平滑研磨された部品の面粗さ評価に最適な白色干渉顕微鏡です。
仕様
基本システム
| 最大測定物サイズ | W:201 × D：104× H:120mm （H: 対物レンズ5倍時116mm、対物レンズ2.5倍時85mm） |
|---|---|
| 有効測定範囲 | X：75 × Y：50mm Z1軸（フォーカシングユニット）：30mm Z2軸（顕微鏡高さ調整可能ストローク）：90mm Z3軸（ピエゾ駆動）：250μm（オプション：400μm） |
| XYステージ | 手動 |
| 顕微鏡 | シングルマウント顕微鏡 |
| 対物レンズ | 以下の6個から選択。 2.5×、5×、10×、20×、50×、100× |
| 視野 | H:7.00 × V:5.00mm ～ H:0.17 × V:0.12mm |
| 照明 | 同軸落射照明（白色LED） |
| 除振機構 | パッシブ除振台（オプション：アクティブ除振台） |
3次元形状測定（白色干渉法）
| 垂直分解能 | 垂直走査法：1nm / 位相シフト法：0.1nm |
|---|---|
| 段差測定繰り返し性 ※1 | σ≦0.5% |
※1：VLSI社製 8μm標準段差にて検査時。当社測定条件による。
電池・精密営業グループ
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