OLED 有機ELディスプレイの寸法測定
スマートフォンやテレビで採用されている鮮やかな映像と「超薄型」が特長の有機ELディスプレイ（OLED）。その高い画質を実現するため、製造工程においては特に有機発光層の蒸着工程での寸法管理がポイントとなっています。新東工業の製品はその開発・試作段階から量産段階に至るまで数多く使用され、有機ELディスプレイ技術の発展に合わせた製品をリリースしています。
蒸着用メタルマスク測定
有機ELディスプレイのバックプレーン（駆動回路基板）であるLTPSパネルに対し、真空蒸着装置でRGB3色の有機発光層をピクセル単位で蒸着する工程で使用されるファインメタルマスク（FMM）は、有機ELディスプレイの高精細化の決め手となるキーパーツです。FMMは一定回数使用されると洗浄工程を経て再度蒸着に使用されるため、洗浄後の寸法変化確認のための測定が行われます。また、FMMの製造メーカーでは出荷前の品質確認のための測定を行います。
測定概要
FMMの開口･リブ寸法、蒸着エリア全体の長さ・位置ずれ（歪み）、さらには表面のたわみ量まで測定します。重量のあるメタルマスクを正確に測定するため、剛性を強化した測定テーブルを使用して設置時のFMMの変形を抑えます。
またピクセル単位の蒸着層塗分け用のFMM以外にも、共通層や封止層蒸着用のオープンマスクの開口位置や開口サイズ測定にも対応しています。
LTPSパネル測定
有機ELパネルのバックプレーン（駆動回路基板）には液晶ディスプレイにも使用されるTFT基板、主に低温ポリシリコン（LTPS）TFTパネルが用いられます。このLTPS基板の製造工程ではSMICシリーズによりトータルピッチ測定、μ-MasterシリーズでのCD/オーバーレイ測定が行われます。
電池・精密営業グループ
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