加工サービス 微細加工
▲ガラス、セラミックス、シリコンへの微細加工例
加工例
ガラス穴あけ
セラミックスのエッチング
MEMS対応 微細加工技術
MEMS対応のマイクロブラスト工法により、高精度な微細加工を実現します。
マイクロブラスト加工
マスクレスマイクロブラスト加工
微細砥粒を使用した噴射加工技術であるマイクロブラスト工法により、ガラス・シリコン・セラミックス等に線幅20ミクロン、
穴径30ミクロンまでの高精度微細加工を実現します。
ウエットエッチング、レーザー加工、ドリル加工、超音波加工等に替わるMEMS対応の微細加工技術マイクロブラスト工法により、
微細加工のBest Solutionをご提案します。
対象製品の材質
- ガラス
- セラミックス
- シリコン
- 石英
- 水晶
- サファイヤ
- 金属 etc.
加工用途
- エッチング
- 穴あけ
- 止り穴加工
- 溝加工
- ハーフエッチング
- 切断
- カッティング
- 薄膜除去
- パターニング
- 塗装剥離
- 模様付け
- 梨地仕上げ
- 文字彫刻
- 面粗し
- グラデーション加工
- 微小バリ取り
- 不純物除去
微細加工関連設備
ファインプロセスセンターは、弊社のMEMS中核センターとしてお客様の微細加工に関する問題解決を図るソリューションの場として開設され、微細加工、研究・開発からマイクロブラスト工法によるテスト加工、試作加工、量産加工までを行っています。
ファインプロセスセンターでは、マイクロブラスト装置をはじめ、クリーンルーム内にラミネーター、露光装置、現像装置のフォトリソグラフィー設備及び洗浄装置、検査装置を完備しており、マスキングプロセスからマイクロブラスト加工、洗浄までをトータルにサポートしております。
